Żukowski, PawełPawełŻukowskiWęgierek, PawełPawełWęgierekPartyka, JanuszJanuszPartykaKołtunowicz, TomaszTomaszKołtunowicz2024-12-192024-12-192006https://hdl.handle.net/20.500.14629/17014Sposób wytwarzania obszarów izolacji pionowej w układach scalonychMethod for making vertical insulating areas in the integrated circuitsPatenthttps://ewyszukiwarka.pue.uprp.gov.pl/search/pwp-details/P.381107WUP 11/2012BUP 11/2008P.381107Pat.212829