Sposób wytwarzania kondensatora do układów scalonych

Abstract

Sposób wytwarzania kondensatorów do układów scalonych, na płytce podłożowej (3) z krzemu, pokrytą warstwą izolacyjną (2) z dwutlenku krzemu poddanej wcześniej wszystkim operacjom technologicznym wymaganym do wykonania układu scalonego, polega tym, że wykonuje się naniesienie rozpylaniem jonowym (6) warstwy (1) materiału Ti0,33Zr0,33Mo0,34C w atmosferze argonu, w zakresie ciśnienia od 0,15 Pa do 0,25 Pa.