Wpływ implantacji jonowej i wybranych procesów technologicznych na własności dielektryczne warstw krzemu

Węgierek, Paweł

Publication details

Type

Thesis

Subtype

Doctoral thesis

Authors / Creators

Węgierek, Paweł

Promoter

Żukowski, Paweł

Date

1996

Węgierek, P. (1996). Wpływ implantacji jonowej i wybranych procesów technologicznych na własności dielektryczne warstw krzemu (, ed.). https://hdl.handle.net/20.500.14629/11569

Files

Wpływ implantacji jonowej i wy...

Request access

Closed Access

PDF14.69 MB

License

Closed Access

Accessibility issue?Request a WCAG-compliant file

Publication available in collections

Doctoral Theses