Urządzenia technologiczne do produkcji wyrobów półprzewodnikowych - Ogólne wymagania i badania BN-86/3380-02

Kruszelnicki, Czesław; Nagy, Henryk; Przemysłowy Instytut Elektroniki (Warszawa)

Publication details

Type

Industry standard

Authors / Creators

Kruszelnicki, Czesław

Nagy, Henryk

Przemysłowy Instytut Elektroniki (Warszawa)

Publisher

Wydawnictwa Normalizacyjne ALFA

Date

1987

Additional information

Zgłoszona przez Przemysłowy Instytut Elektroniki ; Ustanowiona przez Dyrektora Naukowo-Produkcyjnego Centrum Półprzewodników dnia 2 października 1986 r. jako norma obowiązująca od dnia 1 kwietnia 1987 r.
Wyd.2

Kruszelnicki, C., Nagy, H., & Przemysłowy Instytut Elektroniki (Warszawa). (1987). Urządzenia technologiczne do produkcji wyrobów półprzewodnikowych - Ogólne wymagania i badania BN-86/3380-02 (, ed.). https://hdl.handle.net/20.500.14629/5404

Files

BN_86_3380_02.pdf

Download

PublicDomain

PDF3.31 MB

License

Public Domain

Accessibility issue?Request a WCAG-compliant file

Publication available in collections

Industry Standards