Reaktor mikroplazmowy z regulowanym odstępem między elektrodami do obróbki powierzchni

Abstract

Reaktor mikroplazmowy z regulowanym odstępem między elektrodami do obróbki powierzchni posiadający układ zasilania, dwie elektrody robocze oraz dyszę charakteryzuje się tym, że składa się z obudowy (1) w kształcie pionowego walca z prostokątną podstawą (2), w której umieszczone są uchwyty (3), w których zamocowane są wymienne metalowe lub grafitowe elektrody (4) cylindryczne, przy czym odległość między uchwytami (3) regulowana jest za pomocą przekładni (5), zaś w podstawie (2) obudowy (1) centralnie zamontowana jest dysza (6) o regulowanej średnicy i wysokości, przez którą podawany jest gaz procesowy, natomiast elektrody robocze (4) zasilane są z generatora prądu zmiennego (7).