Wielofazowy reaktor plazmowy z centralną elektrodą neutralną

Abstract

Przedmiotem zgłoszenia jest wielofazowy reaktor plazmowy z centralną elektrodą neutralną, posiadający komorę wyładowczą, elektrody robocze, elektrodę neutralną, elektrody zapłonowe, kanały napływu gazu plazmotwórczego. Charakteryzuje się on tym, że składa się z komory wyładowczej posiadającej podstawę i część cylindryczną, zaś do ścianki podstawy od wewnętrznej strony zamocowane są za pomocą przepustów prądowych trzy elektrody robocze (3), rozmieszczone promieniowo i symetrycznie wokół osi symetrii komory wyładowczej w równych odstępach kątowych 120°. Każda elektroda robocza posiada kształt płyty o dwóch ściankach ułożonych pod kątem prostym oraz trzeciej ścianie o zarysie łuku. Każda z elektrod roboczych podłączona jest do osobnej fazy układu zasilania w energię elektryczną (4), do którego są one podłączone przewodami (L1, L2, L3). W osi cylindrycznej komory wyładowczej zamocowana jest prętowa elektroda neutralna (5) podłączona do przewodu neutralnego układu zasilania w energię elektryczną (4). Tudzież w dolnej strefie przestrzeni między poszczególnymi elektrodami roboczymi, a elektrodą neutralną (5) zamocowana jest poprzez przepusty prądowe do podstawy para prętowych elektrod zapłonowych (6a, 6b), które podłączone są przewodami (Z1, Z2) do osobnego obwodu zasilania w energię elektryczną (7). Pomiędzy każdą elektrodą roboczą (3) a elektrodą neutralną (5) zamocowany jest do podstawy wylot kanału doprowadzenia gazu (8) podłączone do układu zasilania w gazy plazmotwórcze (9).