Sposób pomiaru spadku napięcia na zestyku materiał implantowany - elektroda probiercza

Abstract

Sposób pomiaru spadku napięcia na zestyku materiał implantowany - elektroda probiercza, polegający na pomiarze spadku napięcia przy zadanej wartości prądu stałego i określonej sile docisku elektrody probierczej do materiału implantowanego charakteryzuje się tym, że badany materiał umieszcza się w implantatorze, kolejno poddaje się go implantacji, mierzy się spadek napięcia, podczas zatrzymania implantacji, przy czym pomiar spadku napięcia powtarza się przy kolejnych dawkach jonów implantowanych, aż do momentu osiągnięcia ustalonej wartości spadku napięcia w niezmiennym układzie pomiarowym i tych samych warunkach.