Źródło jonów pierwiastków gazowych do implantacji metali

Abstract

Źródło jonów pierwiastków gazowych do implantacji metali, działające za zasadzie elektrycznego wyładowania jarzeniowego, zapalanego w zjonizowanym gazie, w układzie elektrod z wnękową katodą, charakteryzuje się tym, że aluminiowy korpus (1) posiadający wnękę katodową w kształcie osiowego cylindrycznego wydrążenia (2) z wyprofilowanym zewnętrznie radiatorem (3) żebrowym stanowi katodę posiadającą od strony anody wymienne przesłony (4) z otworem, a do anody (5) dochodzi gazowy przepust (6) próżniowy izolowany elektrycznie z zewnętrznym radiatorem (7) żebrowym.