Sposób wytwarzania kondensatora do układów scalonych

Abstract

Przedmiotem zgłoszenia jest, przedstawiony na rysunku, sposób wytwarzania kondensatorów do układów scalonych, na płytce podłożowej (3) z krzemu, pokrytą warstwą izolacyjną (2) z dwutlenku krzemu poddanej wcześniej wszystkim operacjom technologicznym wymaganym do wykonania układu scal onego. Sposób ten polega na tym, że wykonuje się naniesienie rozpylaniem jonowym (6) warstwy (1) materiału (FeCoZr)51,7(Pb0,81Sr0,04(Na0,5Bi0,5)0,15(Zr0,575Ti0,425)O3)48,3 w atmosferze argonu i tlenu w zakresie ciśnień argonu od 10-3 Pa do 10-2 Pa oraz w zakresie ciśnień tlenu od 10-3 Pa do 10-2 Pa a następnie wykonuje się wygrzewanie stabilizujące w temperaturze z zakresu od 300°C do 350°C.