Sposób wytwarzania szeregowego układu pojemność-indukcyjność do układów scalonych

Abstract

Sposób wytwarzania szeregowego układu pojemność-indukcyjność do układów scalonych, na płytce (3) podłożowej z krzemu, poddanej wcześniej wszystkim operacjom technologicznym wymaganym do wykonania układu scalonego polega na tym, że wykonuje się naniesienie rozpylaniem jonowym (6) warstwy (1) materiału o składzie (FeCoZr)62,7(CaF2)37,3 w atmosferze argonu i tlenu w zakresie ciśnień argonu od 10-2 Pa do 10-1 Pa oraz tlenu w zakresie ciśnień od 10-2 Pa do 10-1 Pa, a następnie wykonuje się wygrzewanie stabilizujące w temperaturze 150°C, w czasie 10 - 20 minut.