Urządzenie do pomiaru spadku napięcia na implantowanym zestyku

Abstract

Urządzenie do pomiaru spadku napięcia na implantowanym zestyku składa się z komory hermetycznej, z zespołu pomiaru prądu, z zespołu pomiaru napięcia, przy czym w hermetycznej komorze (1) implantatora umieszczona jest na nieruchomym uchwycie (5) próbka (2) materiału implantowanego, zaś na przeciw na ramieniu (3) dźwigni równoramiennej, odchylanym z obszaru wiązki jonów, umocowana jest elektroda (4) probiercza, która po implantacji próbki (2) określoną dawkę jonów, dotyka do implantowanej próbki (2) z zadaną na drugim ramieniu dźwigni siłą od siłownika (6) z pomiarem siły.