Sposób wytwarzania bezuzwojeniowej indukcyjności do układów mikroelektronicznych

Abstract

Sposób wytwarzania bezuzwojeniowej indukcyjności do układów mikroelektronicznych, na płytce (3) podłożowej z krzemu, poddana wcześniej wszystkim operacjom technologicznym wymaganym do wykonania układu mikroelektronicznego polega na tym, że wykonuje się naniesienie rozpylaniem jonowym (6) warstwy (1) materiału o składzie Cu35,63(SiO2)63,37 w atmosferze argonu w zakresie ciśnień od 10-3 Pa do 10-2 Pa.