Kondensator do układów scalonych i sposób jego wytwarzania

Abstract

Kondensator do układów scalonych składający się z płyty podłożowej (3) z krzemu, pokrytej warstwą izolacyjną (2) z dwutlenku krzemu charakteryzuje się tym, że na warstwie izolacyjnej (2) znajduje się warstwa (1) materiału (Ti0,75Zr0,25)C. Sposób wytwarzania kondensatorów do układów scalonych, na płytce podłożowej (3) z krzemu, pokrytą warstwą izolacyjną (2) z dwutlenku krzemu poddanej wcześniej wszystkim operacjom technologicznym wymaganym do wykonania układu scalonego polega na tym, że wykonuje się naniesienie rozpylaniem jonowym (6) warstwy (1) materiału (Ti0,75Zr0,25)C w atmosferze argonu w zakresie ciśnienia od 0,1 Pa do 0,2 Pa.