Kondensator do układów scalonych i sposób jego wytwarzania

Alternative title
Capacitor for integrated circuits and method of its production
Type
Patent
Subtype
Invention
Authors/Creators
;;;;
Publisher
Urząd Patentowy Rzeczypospolitej Polskiej
Date
2020
Weblink
https://ewyszukiwarka.pue.uprp.gov.pl/search/pwp-details/P.434251
Abstract PL
Kondensator do układów scalonych składający się z płyty podłożowej (3) z krzemu, pokrytej warstwą izolacyjną (2) z dwutlenku krzemu charakteryzuje się tym, że na warstwie izolacyjnej (2) znajduje się warstwa (1) materiału (Ti0,75Zr0,25)C. Sposób wytwarzania kondensatorów do układów scalonych, na płytce podłożowej (3) z krzemu, pokrytą warstwą izolacyjną (2) z dwutlenku krzemu poddanej wcześniej wszystkim operacjom technologicznym wymaganym do wykonania układu scalonego polega na tym, że wykonuje się naniesienie rozpylaniem jonowym (6) warstwy (1) materiału (Ti0,75Zr0,25)C w atmosferze argonu w zakresie ciśnienia od 0,1 Pa do 0,2 Pa.
Date of filing with the Polish Patent Office or with the competent office abroad
2020-06-09
Date of publication in ‘WUP’ or equivalent foreign bulletin
2021-04-19
Exclusive right number
Pat.237546
Statistics
3Views
20Downloads
Kołtunowicz, T. N., Żukowski, P., Bondariev, V., Pogrebnjak, A. D., & Maksakova, O. V. (2020). Kondensator do układów scalonych i sposób jego wytwarzania. Urząd Patentowy Rzeczypospolitej Polskiej. https://hdl.handle.net/20.500.14629/17612
Thumbnail Image
Files
miniaturka.jpg
JPG 291.46 KB
Licence
Accessibility issue?Request a WCAG-compliant file
Publication available in collections:
Inventions