Sposób wytwarzania bezuzwojeniowych indukcyjności do układów mikroelektronicznych

Abstract

Sposób wytwarzania obszarów bezuzwojeniowych indukcyjności do układów mikroelektronicznych charakteryzuje się tym, że wykonuje się naniesienie rozpylaniem magnetronowym (6) warstwy materiału ferromagnetycznego o składzie (Co0,45Fe0,45Zr0,10)0,38(Al2O3)0,62 w atmosferze argonu o ciśnieniach od 10-2 Pa do 10-1 Pa, korzystnie 5,19 • 10-2 Pa i tlenu o ciśnieniach od 10-2 Pa do 10-1Pa, korzystnie 4,41 •10-2 Pa na płytkę (3) podłożową z krzemu, poddaną, wcześniej wszystkim operacjom technologicznym wymaganym do wykonania układu mikroelektronicznego, a następnie przeprowadza się izotermiczne wygrzewanie stabilizujące w temperaturze 575°C, w czasie 10-30 minut, korzystnie 15 minut.