Sposób wytwarzania szeregowego układu pojemność-indukcyjność do układów mikroelektronicznych

Abstract

Sposób wytwarzania szeregowego układu pojemność-indukcyjność (1) do układów mikroelektronicznych, charakteryzuje się tym, że wykonuje się naniesienie rozpylaniem magnetronowym warstwy (6) warstwy materiału ferromagnetycznego (Co0,45Fe0,45Zr0,10)0,38(Al2O3)0,62 w atmosferze argonu o ciśnieniach od 10-2 Pa do 10-1 Pa, korzystnie 5,19 • 10-2 Pa i tlenu o ciśnieniach od 10-2 Pa do 10-1 Pa, korzystnie 4,41 • 10-2 Pa na płytkę (3) podłożową, z krzemu, poddaną wcześniej wszystkim operacjom technologicznym wymaganym do wykonania układu mikroelektronicznego, a następnie przeprowadza się izotermiczne wygrzewanie stabilizujące w temperaturze 550°C, w czasie 10 - 30 minut, korzystnie 15 minut.