Sposób wytwarzania kondensatora do układów scalonych

Alternative title
Method of manufacturing a capacitor for integrated circuits
Type
Patent
Subtype
Invention
Authors/Creators
;;;;;;;
Publisher
Urząd Patentowy Rzeczypospolitej Polskiej
Date
2024
Weblink
https://ewyszukiwarka.pue.uprp.gov.pl/search/pwp-details/P.448886
Abstract PL
Sposób wytwarzania kondensatorów do układów scalonych, na płytce podłożowej (3) z krzemu, pokrytą warstwą izolacyjną (2) z dwutlenku krzemu poddanej wcześniej wszystkim operacjom technologicznym wymaganym do wykonania układu scalonego, polega tym, że wykonuje się naniesienie rozpylaniem jonowym (6) warstwy (1) materiału Ti0,5Zr0,25Mo0,25C w atmosferze argonu, w zakresie ciśnienia od 0,15 Pa do 0,25 Pa.
Date of filing with the Polish Patent Office or with the competent office abroad
2024-06-19
Date of publication in ‘WUP’ or equivalent foreign bulletin
2025-09-22
Exclusive right number
Pat.247962
Statistics
2Views
5Downloads
Kołtunowicz, T. N., Gałaszkiewicz, P., Bondariev, V., Kierczyński, K., Okal, P., Rogalski, P., Borba-Pohrebniak, S., & Żukowski, P. (2024). Sposób wytwarzania kondensatora do układów scalonych. Urząd Patentowy Rzeczypospolitej Polskiej. https://hdl.handle.net/20.500.14629/18660
Thumbnail Image
Files
miniaturka.jpg
JPG 324.92 KB
Licence
Accessibility issue?Request a WCAG-compliant file
Publication available in collections:
Inventions