Sposób wytwarzania bezuzwojeniowej indukcyjności do układów scalonych

Abstract

Sposób wytwarzania bezuzwojeniowej indukcyjności do układów scalonych, charakteryzuje się tym, że wykonuje się naniesienie rozpylaniem jonowym warstwy materiału o składzie (FeCoZr)0,28[Pb0,81Sr0,04(Na0,5Bi0,5)0,15(Zr0,575Ti0,425)O3]0,72 w czasie od 130 do 140 minut, w atmosferze argonu i tlenu w zakresie ciśnień argonu od 10-2 Pa do 10-1 Pa, i tlenu od 10-3 Pa do 10-2 Pa, na płytkę podłożową z krzemu, poddaną wcześniej wszystkim operacjom technologicznym wymaganym do wykonania układu scalonego.