Sposób wytwarzania kondensatora do układów scalonych

Sposób wytwarzania kondensatorów do układów scalonych, na płytce podłożowej (3) z krzemu, pokrytą warstwą izolacyjną (2) z dwutlenku krzemu poddanej wcześniej wszystkim operacjom technologicznym wymaganym do wykonania układu scalonego, polega tym, że wykonuje się naniesienie rozpylaniem jonowym (6) warstwy (1) materiału Ti0,25Zr0,5Mo0,25C w atmosferze argonu, w zakresie ciśnienia od 0,15 Pa do 0,25 Pa.

Date of filing with the Polish Patent Office or with the competent office abroad

2024-06-19

Date of publication in ‘WUP’ or equivalent foreign bulletin

2025-09-22

Exclusive right number

Pat.247963

Kołtunowicz, T. N., Gałaszkiewicz, P., Bondariev, V., Kierczyński, K., Okal, P., Rogalski, P., Borba-Pohrebniak, S., & Żukowski, P. (2024). Sposób wytwarzania kondensatora do układów scalonych. Urząd Patentowy Rzeczypospolitej Polskiej. https://hdl.handle.net/20.500.14629/18661

Files

miniaturka.jpg

JPG 322.93 KB

Licence

Accessibility issue?Request a WCAG-compliant file

Publication available in collections:

Inventions