Kondensator do układów scalonych i sposób jego wytwarzania

dc.abstract.plKondensator do układów scalonych składający się z płytki podłożowej (3) z krzemu, pokrytej warstwą izolacyjną (2) z dwutlenku krzemu, charakteryzuje się tym, że na warstwie izolacyjnej (2) znajduje się warstwa (1) materiału TiC. Sposób wytwarzania kondensatorów do układów scalonych, na płytce podłożowej (3) z krzemu, pokrytej warstwą izolacyjną (2) z dwutlenku krzemu poddanej wcześniej wszystkim operacjom technologicznym wymaganym do wykonania układu scalonego polega tym, że wykonuje się naniesienie rozpylaniem jonowym (6) warstwy (1) materiału TiC w atmosferze argonu w zakresie ciśnienia od 0,1 Pa do 0,2 Pa.
dc.affiliationPOLITECHNIKA LUBELSKA
dc.contributor.authorKołtunowicz, Tomasz N.
dc.contributor.authorŻukowski, Paweł
dc.contributor.authorBondariev, Vitalii
dc.contributor.authorPogrebnjak, Alexander D.
dc.contributor.authorMaksakova, Olga V.
dc.date.accessioned2024-12-19T13:12:22Z
dc.date.application2020-06-09
dc.date.available2024-12-19T13:12:22Z
dc.date.issued2020
dc.date.publicationbup2020-12-14
dc.date.publicationwup2021-04-19
dc.description.classification
dc.description.classification
dc.description.classification
dc.description.classification
dc.identifier.bupBUP 26/2020
dc.identifier.patentPat.237549
dc.identifier.publicationP.434254
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/20.500.14629/17616
dc.identifier.weblinkhttps://ewyszukiwarka.pue.uprp.gov.pl/search/pwp-details/P.434254
dc.identifier.wupWUP 08/2021
dc.languagepolski
dc.patent.countryPL
dc.patent.nameUrząd Patentowy Rzeczypospolitej Polskiej
dc.publisherUrząd Patentowy Rzeczypospolitej Polskiej
dc.subtypeInvention
dc.titleKondensator do układów scalonych i sposób jego wytwarzania
dc.title.alternativeCapacitor for integrated circuits and method of its production
dc.typePatent
dspace.entity.typePublication
Files

Original bundle

Name:
miniaturka.jpg
Size:
299.68 KB
Format:
Joint Photographic Experts Group/JPEG File Interchange Format (JFIF)
Licence:
Download
Publication available in collections:
Inventions