Sposób wytwarzania obszarów izolacji pionowej w układach scalonych

dc.abstract.plSposób wytwarzania obszarów izolacji pionowej w układach scalonych wykonanych na podłożu z arsenku galu charakteryzuje się tym, że wykonuje się polienergetyczną implantację jonów lekkich, korzystnie jonów wodoru H+ o dawkach rzędu 1012- 1015cm-2, korzystnie 1014cm-2 i energiach z zakresu 50-400keV, do płytki z arsenku galu poddanej wcześniej wszystkim operacjom technologicznym wymaganym dla wykonania układu scalonego, a następnie przeprowadza się izotermiczne wygrzewanie stabilizujące w temperaturze od 200°C do 300°C, korzystnie 250°C, w czasie 10-15 minut, korzystnie 15 minut.
dc.affiliationPOLITECHNIKA LUBELSKA W LUBLINIE
dc.contributor.authorŻukowski, Paweł
dc.contributor.authorWęgierek, Paweł
dc.contributor.authorPartyka, Janusz
dc.contributor.authorKołtunowicz, Tomasz
dc.date.accessioned2024-12-19T13:04:25Z
dc.date.application2006-11-21
dc.date.available2024-12-19T13:04:25Z
dc.date.issued2006
dc.date.publicationbup2008-05-26
dc.date.publicationwup2012-11-30
dc.description.classificationH01L 21/425 20060101AFI20061122BHPL
dc.identifier.bupBUP 11/2008
dc.identifier.patentPat.212829
dc.identifier.publicationP.381107
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/20.500.14629/17014
dc.identifier.weblinkhttps://ewyszukiwarka.pue.uprp.gov.pl/search/pwp-details/P.381107
dc.identifier.wupWUP 11/2012
dc.languagepolski
dc.patent.countryPL
dc.patent.nameUrząd Patentowy Rzeczypospolitej Polskiej
dc.publisherUrząd Patentowy Rzeczypospolitej Polskiej
dc.subtypeInvention
dc.titleSposób wytwarzania obszarów izolacji pionowej w układach scalonych
dc.title.alternativeMethod for making vertical insulating areas in the integrated circuits
dc.typePatent
dspace.entity.typePublication
Files

Original bundle

Name:
miniaturka.jpg
Size:
187.57 KB
Format:
Joint Photographic Experts Group/JPEG File Interchange Format (JFIF)
Licence:
Download
Publication available in collections:
Inventions