Sposób wytwarzania kondensatora do układów scalonych

dc.abstract.plSposób wytwarzania kondensatorów do układów scalonych, na płytce podłożowej (3) z krzemu, pokrytą warstwą izolacyjną (2) z dwutlenku krzemu poddanej wcześniej wszystkim operacjom technologicznym wymaganym do wykonania układu scalonego, polega tym, że wykonuje się naniesienie rozpylaniem jonowym (6) warstwy (1) materiału Ti0,25Zr0,5Mo0,25C w atmosferze argonu, w zakresie ciśnienia od 0,15 Pa do 0,25 Pa.
dc.affiliationPOLITECHNIKA LUBELSKA
dc.contributor.authorKołtunowicz, Tomasz Norbert
dc.contributor.authorGałaszkiewicz, Piotr
dc.contributor.authorBondariev, Vitalii
dc.contributor.authorKierczyński, Konrad
dc.contributor.authorOkal, Paweł
dc.contributor.authorRogalski, Przemysław
dc.contributor.authorBorba-Pohrebniak, Svitlana
dc.contributor.authorŻukowski, Paweł
dc.date.accessioned2025-09-23T23:03:37Z
dc.date.application2024-06-19
dc.date.available2025-09-23T23:03:37Z
dc.date.issued2024
dc.date.publicationbup2024-12-30
dc.date.publicationwup2025-09-22
dc.description.classification
dc.description.classification
dc.description.classification
dc.identifier.bupBUP 53/2024
dc.identifier.patentPat.247963
dc.identifier.publicationP.448887
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/20.500.14629/18661
dc.identifier.weblinkhttps://ewyszukiwarka.pue.uprp.gov.pl/search/pwp-details/P.448887
dc.identifier.wupWUP 38/2025
dc.languagepolski
dc.patent.countryPL
dc.patent.nameUrząd Patentowy Rzeczypospolitej Polskiej
dc.publisherUrząd Patentowy Rzeczypospolitej Polskiej
dc.subtypeInvention
dc.titleSposób wytwarzania kondensatora do układów scalonych
dc.title.alternativeMethod of manufacturing a capacitor for integrated circuits
dc.typePatent
dspace.entity.typePublication
Files

Original bundle

Name:
miniaturka.jpg
Size:
322.93 KB
Format:
Joint Photographic Experts Group/JPEG File Interchange Format (JFIF)
Licence:
Download
Publication available in collections:
Inventions